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在先进半导体工艺上国内最大的晶圆代工厂中芯国际SMIC的14nm工艺已经量产改进版的12nm工艺也在导入中取得了优秀的成绩考虑到国内半导体工艺上的落后光指望中芯国际一家也是不行的上海华虹集团日前透露其14nmFinFET工艺也全线贯通SRAM良率已达25

1月12日下午华虹集团在无锡新落成的华虹七厂研发大楼召开开放创新合作华虹集团2020年全球供应商迎新座谈会邀请了国内30多家国外50多家供应商合作伙伴出席华虹集团高管分享了该公司的最新进展

华虹方面表示2019年是华虹集团产能扩张工艺提升的关键年该公司多个项目都取得了重要进展

作为华虹集团在上海市域以外的第一个制造项目华虹七厂于9月17日实现顺利投产首期1万片产能的机台顺利串线并完成一系列工艺验证进入正常生产阶段创造了业界同类产线建成投产的最快记录成为中国大陆第一条12英寸特色工艺产线也是中国大陆第一条12英寸功率器件代工产线

华虹六厂自2018年10月18日投产以来产能爬坡顺利目前已经完成月产2万片的装机产能

华虹五厂实现连续两年盈利年度出货量单日作业量屡创新高

华虹宏力8英寸特色工艺制造平台华虹一二三厂在产能规模营运效率方面持续保持领先并连续9年实现盈利

华虹集团成为业界唯一一家连续两年建设并投产运营两条12英寸生产线的企业

除了产能建设之外华虹集团在技术研发上也获得了多项重要突破新研发的6555纳米节点得射频和BCD特色工艺平台处于国际先进水平28纳米工艺28LP28HK28HKC均实现量产22纳米研发快速推进14纳米研发或重大进展更先进技术节点的先导工艺研发快速部署

尤其是最新一代的工艺华虹集团总工程师赵宇航指出其14nmFinFET工艺已经全线贯通SRAM良率252020年将快速推进

这也是华虹集团首次对外公布14nm工艺的具体良率情况SRAM芯片的25良率对生产来说肯定不行但是对研发实验来说已经是一大进步

在总体进度上华虹的14nm工艺肯定是不如中芯国际的14nm快的后者的14nm工艺去年良率就达到了95并已经开始进入量产阶段比国家预定目标提前一年现在正在产能提升及新工艺导入阶段